KASUGA 春日 KS-2100 传感器 KS-3101传感器
2024-12-03 10:49:43
admin
KASUGA 春日 KS-2100 传感器 KS-3101传感器
特征
大气压和真空下的线性
该图是使用 KS-3101 在真空室内施加任意电压来测量带电板的电位的结果。即使在不同压力环境下（真空下10-3Pa，大气压下10+5Pa），无需校准即可得到相同的测量值。
*此数据为实际值，并非保证值。
使用真空兼容静电电位传感器测量对真空室的影响
●排气分析比较
对传感器排出的气体进行分析证实，气体的主要成分是水和微量碳氢化合物。由于每个峰值与背景中测量的峰值相同，因此认为它源自环境中吸附在传感器表面上的气体。
● 极限真空度比较
排气装置：大阪真空机器制造株式会社制造的涡轮分子泵TG220FCAB
排气速度：220L/sec(N2)
腔室尺寸：φ300×L 300mm
*此数据为实际值，并非保证值。
规格
| 模型 | KS-3101 |
|---|---|
| 检测方法 | 振动表面电位传感器 |
| 推荐真空度 | 10 5 Pa（大气压）、10 -1～ 10 -5 Pa |
| 测量范围 | HIGH范围：0至±20.0kV（测量距离100mm） LOW范围：0至±2000V（测量距离10mm） |
| 测量精度 | ±10%以内 |
| 警报 | 检测传感器故障LED指示 |
| 使用环境 | 温度0~40℃，湿度65%以下（无凝露） |
| 大量的 | 约130g（不含电缆和控制盒） |
| 配置要点 | 真空电缆：KS-3101-C01（电缆长度1m，可延长） 控制箱：KS-3101-B05（带5M大气电缆，可延长） 控制器：KSD-0110 |
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